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石河子高溫石墨化爐

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石河子高溫石墨化爐

  • 所屬分類:石河子真空燒結爐

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  • 發(fā)布日期:2024/06/15
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       用于碳碳復合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產(chǎn)品的高溫燒結處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動,經(jīng)過物理擴散、化學反應使雜質元素從基體中排出,形成灰分含量低(5ppmw)、金屬含量降到PPB數(shù)量級,從而達到半導體晶體生長對石墨品質(或粉體原料)要求的工藝過程。

采用恒進專屬超高溫、大電流引電技術,能在2400℃條件下長時間穩(wěn)定使用。

規(guī)格

溫區(qū)尺寸(mm

最高溫度(℃)

壓升率(Pa/h

極限真空度(Pa

RVSG-1316H

φ1300*1600

2400

0.67

0.5-500Pa

RVSG-3126H

φ3100*2600

2400

0.67

0.5-500Pa

RVSG-202048

2000*2000*4800

2400

0.67

0.5-500Pa

RVSG-151520

1500*1500*2000

2400

0.67

0.5-500Pa


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