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邢臺(tái)高溫石墨化爐

所屬分類：邢臺(tái)真空燒結(jié)爐
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發(fā)布日期：2024/06/15
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詳細(xì)介紹

用于碳碳復(fù)合材料、石墨軟氈、石墨硬氈的高溫石墨化處理或其他產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動(dòng)，經(jīng)過物理擴(kuò)散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金屬含量降到PPB數(shù)量級(jí)，從而達(dá)到半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)對(duì)石墨品質(zhì)（或粉體原料）要求的工藝過程。

采用恒進(jìn)專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在2400℃條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用。

規(guī)格	溫區(qū)尺寸（mm）	最高溫度（℃）	壓升率（Pa/h）	極限真空度（Pa）
RVSG-1316H	φ1300*1600	2400	0.67	0.5-500Pa
RVSG-3126H	φ3100*2600	2400	0.67	0.5-500Pa
RVSG-202048	200020004800	2400	0.67	0.5-500Pa
RVSG-151520	150015002000	2400	0.67	0.5-500Pa