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沈陽恒進(jìn)真空科技有限公司
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用于碳碳復(fù)合材料純化處理或其他產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)處理。高溫純化爐是將石墨制品、石墨軟氈、石墨硬氈或SiC粉體等通過高溫焙燒和工藝氣體定向流動(dòng),經(jīng)過物理擴(kuò)散、化學(xué)反應(yīng)使雜質(zhì)元素從基體中排出,形成灰分含量低(5ppmw)、金屬含量降到PPB數(shù)量級,從而達(dá)到半導(dǎo)體晶體生長對石墨品質(zhì)(或粉體原料)要求的工藝過程。
采用恒進(jìn)專屬超高溫、大電流引電技術(shù),能在2400℃條件下長時(shí)間穩(wěn)定使用。
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